Waferhandling Systeme
Waferhandling Equipment
Wafer Handling Systems
Wafer Handling Equipment

Adenso.Waferhandling-Robot (WHR)

Der Dreh- und Angelpunkt im Waferhandling-System

Waferhandling-Robot Basis-Ausführungen

Wafer Handling Robot (WHR)

Der Adenso.WHR-VAC Waferhandling Robot ist optimiert für höchste Tragfähigkeit und große Reichweiten. Die einfache Armgeometrie erlaubt kleine Gateventile und kompakte Handlerschwenkbereiche. Der Adenso.WHR ist für Handlingaufgaben im Bereich von Vakuum-Robotik (VacBot) von sensiblen und großfächigen Substraten wie Gläser, FPD Flat Panel Display. Auch als Glove-Box-Version und in Voll-Edelstahlausführung verfügbar.

Adenso.WHR Waferhandling-Robots sind verfügbar in folgenden Basis-Ausführungen: (Datenblatt.pdf)

WHR-LARGE
Geeignet für alle Anwendungen im Vakuum und in Gloveboxe nmit hohen Anforderungen an Reichweite und Tragfähigkeit.

WHR-EXTRA LARGE
Anwendungen mit erhöhten Anforderungen an die Reichweite.

Beispiel: TRIAX-Modulim SCOUT 300triax der Firma Ortner Dresden.

WHR-ULTRA LARGE
Bis zu 3-facher Reichweite gegenüber bekannten Lösungen.

Beispiel: Adenso DTS Device Test System für Wafer 100/200/300/450mm, geeignet für Hochvakuum und Glovebox-Schutzgas-Umgebungen.

ROBOT.Configurator

WHM Prozesskammern

Lade-Module

Waferhandling-Robot Detail-Varianten

Adenso Waferhandling-Robot (WHR) DETAILVARIANTEN aus dem Waferhandling System

WHR-VAC Wafer Handling Robot – VAKUUM
Wafer Handling Robot für höchste Tragfähigkeit + Präzision im Vakuum.
Substrate: Wafer, Carrier, Glas-Substrate, FPD Flat Panel Display, PCB, ….

WHR Wafer Handling Robot – ATMOSPHÄRE
Wafer Handling Robot für höchste Tragfähigkeit + Präzision an Atmosphäre und in abgeschirmten Umgebungen (Glove Box).
Substrate: Wafer, Carrier, Glas-Substrate, FPD Flat Panel Display, PCB, ….

WHR-VAC – SONDER
– Volledelstahlausführung (vakuumseitig)
– extralange X-Bewegungsbereiche (SE – STROKE EXTENSION)
– hohe Lasten
> Kundenspezifische Ausführungen des Handling Robots – sprechen Sie uns an!

WHR-VAC – ULTRA HIGH LOAD VERSION
Schwerlastausführung für Aktiv-Carrier-Systeme bis zu 250kg Tragfähigkeit.

WHR-VAC – Grundmodul
Grundmodul als OEM-Produkt für die Integration in Ihre Anwendung.

WHR-VAC – X-AXIS
Kundenspezifisch ausgelegte X-Achse (innerhalb Vakuum).
Hubbereich angepasst an die Handlingaufgabe.
Volledelstahlausführung verfügbar.
Adaption für EE Endeffektoren

WHR-EE – Endeffektor
Endeffektoren, ausgelegt für die aufgabenspezifischen Substratcarrier.
Alle Geometrien. Alle Materialien.

FÜNF GRÜNDE für Adenso Wafer Handling Robots (VacBots)

1. REICHWEITE
Adenso.Solution: Größte Reichweiten = maximale Flexibilität!

2. TRAGFÄHIGKEIT
Adenso.Solution:Höchste Tragfähigkeit = unbegrenzte Substratauswahl!

3. SCHLEUSENVENTILE
Adenso.Solution:Schlanke Kinematik = kleinste Schleusenventile!

4. AUFSTELLFLÄCHE
Adenso.Solution:Platzsparende Kinematik = minimale Aufstellfläche!

5. KOMPLEXITÄT
Adenso.Solution: Einfacher Aufbau = Einsparung von Invest- und Betriebskosten!

NEU: Adenso ROBOT.Configurator

Mit dem Adenso ROBOT.Configurator einfach zur passenden Cluster-Plattform

Adenso bietet mit dem neuen ROBOT.Configurator die Lösung zur Konfiguration individueller Cluster-Plattformen nach Anwendungs-Anspruch.
Live und dreidimensional wächst die gewünschte Anlage aus dem Adenso-System vor Ihren Augen und kommt am Schluß mit einer ausführlichen Zusammenfassung aller Parameter als pdf. Einfach, schnell und flexibel können jetzt Adenso Kunden die verschiedensten Plattform-Varianten konfigurieren. Gleich ausprobieren!

ROBOT.Configurator