Adenso.Waferhandling-Module
Das Waferhandling-Modul als Verteilzentrum des Wafer Handling Systems
Adenso Waferhandling-Module (WHM) Modell-Varianten aus dem Adenso Wafer Handling System:
WHM-VAC Wafer Handling Module
Handlingmodul bestehend aus einer zentralen Vakuumkammer mit integrierterm Wafer Handling Robot WHR-VAC.
WHM-VAC-4PS
Modul mit bis zu 4 Prozess-Stationen
WHM-VAC-6PS
Modul mit bis zu 6 Prozess-Stationen
WHM-VAC-8PS
Modul mit bis zu 8 Prozess-Stationen
DTS 200/300/450 – Device Test System (Datenblatt.pdf)
Hevorragend geeignet für 200 / 300 / 450mm Wafer in Kombination mit allen Arten von Testanwendungen in Schutzgasatmosphäre (Glovebox), z.B. SURAGUS non-contact inline measurement solutionfür Schitcht widerstand [Ohm/sq] und Metalschicht-Dicke [nm, µm]
DTS special/glovebox (Datenblatt.pdf)
Anwendungen mit speziellen Substraten wie z.B. rechteckigen Glasplatten. Kundenspezifische KASSETTEN-LIFTE. Glovebox-Integration als Standard.
Pre- und Post-Processing.Module für jede Substratgröße
COOLING.Module: Abkühlen von Substraten nach thermischen Prozessen
HEATING.Module: Aufheizen von Substraten als Prozessvorbereitung
Ihr Business:
Forschung und Produktion:
• Materialforschung
• Schichtentwicklung
• Halbleiter
• Sensorik
• Optik
FÜNF GRÜNDE für Adenso Wafer Handling
1. REICHWEITE
2. TRAGFÄHIGKEIT
3. SCHLEUSENVENTILE
4. AUFSTELLFLÄCHE
5. KOMPLEXITÄT
6. SYSTEMGEDANKE
7. SOFTWARE
• adControl als Masterinterface steuert alle Cluster Control Systeme
• adControl ist die modulare und hardwareunabhängige Anlagensoftware
Advanced Substrate Handling Solutions for big Substrate up to 3m x 3m
Adenso Wafer Handling Module WHM MAXX
Advanced Substrate Handling Solutions with ultra wide range
Adenos Wafer Handling Module WHM ultra
Advanced Handling Solutions for Substrate, Carrier, Magazine
Adenso DTS220X TESTER
Adenso.Solutions
Wafer&Cluster.Products