Adenso Waferhandling Plattform
Adenso Waferhandling Equipment
Wafer Handling Equipment
Adenso VAC Robots
Production-Line in Germany
Robotics Produktion
in Sachsen

Adenso.Waferhandling-Module

Das Waferhandling-Modul als Verteilzentrum des Wafer Handling Systems

Waferhandling-Modul (WHM)

Adenso Waferhandling-Module (WHM) Modell-Varianten aus dem Adenso Wafer Handling System:

WHM-VAC Wafer Handling Module
Handlingmodul bestehend aus einer zentralen Vakuumkammer mit integrierterm Wafer Handling Robot WHR-VAC.

WHM-VAC-4PS
Modul mit bis zu 4 Prozess-Stationen

WHM-VAC-6PS
Modul mit bis zu 6 Prozess-Stationen

WHM-VAC-8PS
Modul mit bis zu 8 Prozess-Stationen
DTS 200/300/450 – Device Test System (Datenblatt.pdf)
Hevorragend geeignet für 200 / 300 / 450mm Wafer in Kombination mit allen Arten von Testanwendungen in Schutzgasatmosphäre (Glovebox), z.B. SURAGUS non-contact inline measurement solutionfür Schitcht widerstand [Ohm/sq] und Metalschicht-Dicke [nm, µm]

DTS special/glovebox (Datenblatt.pdf)
Anwendungen mit speziellen Substraten wie z.B. rechteckigen Glasplatten. Kundenspezifische KASSETTEN-LIFTE. Glovebox-Integration als Standard.

Pre- und Post-Processing.Module für jede Substratgröße
COOLING.Module: Abkühlen von Substraten nach thermischen Prozessen
HEATING.Module: Aufheizen von Substraten als Prozessvorbereitung

ROBOT.Configurator

WHR Waferhandling-Robot

Lade-Module

Ihr Business:

Forschung und Produktion:
• Materialforschung
• Schichtentwicklung
• Halbleiter
• Sensorik
• Optik

FÜNF GRÜNDE für Adenso Wafer Handling

1. REICHWEITE

2. TRAGFÄHIGKEIT

3. SCHLEUSENVENTILE

4. AUFSTELLFLÄCHE

5. KOMPLEXITÄT

6. SYSTEMGEDANKE

7. SOFTWARE

NEU: ROBOT.Configurator

Mit dem Adenso ROBOT.Configurator einfach zur passenden Cluster-Plattform

Adenso bietet mit dem neuen ROBOT.Configurator die Lösung zur Konfiguration individueller Cluster-Plattformen nach Anwendungs-Anspruch.
Live und dreidimensional wächst die gewünschte Anlage aus dem Adenso-System vor Ihren Augen und kommt am Schluß mit einer ausführlichen Zusammenfassung aller Parameter als pdf. Einfach, schnell und flexibel können jetzt Adenso Kunden die verschiedensten Plattform-Varianten konfigurieren. Gleich ausprobieren!

ROBOT.Configurator