LoadLock-Module
Die Adenso-Kassettenmodule übernehmen Beschickung und Sonderfunktionen
Adenso Wafer LoadLock-Module Varianten aus der Adenso Waferhandling-Systemwelt / Cluster.Platform
ALM – AutoLoad Module – high vacuum type
Schließt die Waferhandling Prozess-Lücke zwischen manueller Ladestange und vollautomatisiertem Roboter.
Schnell, schlank, autonom, hochvakuum- und reinraumtauglich.
adLOAD – High Capacity LoadLock Module
advanced LoadLock.Module bedienen Clusteranlagen mit extremer Substrat.Kapazität
Kapazitäten bis zu 50 Stk. und mehr sind für 200mm und 300mm Wafer möglich!
LLM – LoadLock Module – Automatikversion
Kassettenmodul zur Aufnahme von Substratcarriern für die Adaption an das Handlingmodul WHM-VAC. (VAC.LOADPORT)
Kapazitäten ab 5 Stk. bis mehr als 20 Stk. Carrier-Gewichte von mehr als 10kg pro Carrier möglich!
LLM – LoadLock Module – manuelle Version
Load Lock-Kammer zur manuellen Anlagenbeschickung, vorbereitet zur Adaption an das Handlingmodul WHM-VAC
LMS – LoadLock – Mapping
Sensorbasiertes System welches ein Scannen der eingelegten Carrier-Kassetten ermöglicht
SCC – Substrate Carrier Cassette
Kassette zur Aufnahme mehrerer Carrier, optimiert für den Einsatz des WHR-VAC Wafer Handling Robot
SCS – Substrate Carrier System – Standard
Kundenspezifische Carrier zur Aufnahme von Substraten
SCS – Substrate Carrier System – in-situ
Kundenspezifische Carrier mit integrierter Meßtechnik
SCS – Substrate Carrier System – ACTIVE
Kundenspezifische Carrier mit integrierten Heizelementen
Pre- und Post-Processing.Module
COOLING.Module: Abkühlen von Substraten nach thermischen Prozessen
HEATING.Module: Aufheizen von Substraten als Prozessvorbereitung
LoadLockModule für Ihr Business:
Forschung und Produktion:
• Materialforschung
• Schichtentwicklung
• Halbleiter
• Sensorik
• Optik
FÜNF GRÜNDE für Adenso Wafer Handling
1. REICHWEITE
2. TRAGFÄHIGKEIT
3. SCHLEUSENVENTILE
4. AUFSTELLFLÄCHE
5. WIRTSCHAFTLICHKEIT
Gedacht und gemacht in Sachsen
Adenso.Solutions