Adenso Waferhandling Equipment
LoadLock Module
Adenso Waferhandling Systeme
Hohe Reichweiten
Adenso Wafer Handling Plattform
Hohe Kapazitäten
Adenso LLM
Geschickt beschickt
adLOAD
High Capacity LoadLock Module
High Capacity Module
für 50 Wafer und mehr

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LoadLock-Module

Die Adenso-Kassettenmodule übernehmen Beschickung und Sonderfunktionen

Adenso LoadLock Module (LLM)

Adenso Wafer LoadLock-Module Varianten aus der Adenso Waferhandling-Systemwelt / Cluster.Platform

ALM – AutoLoad Module – high vacuum type
Schließt die Waferhandling Prozess-Lücke zwischen manueller Ladestange und vollautomatisiertem Roboter.
Schnell, schlank, autonom, hochvakuum- und reinraumtauglich.

adLOAD – High Capacity LoadLock Module
advanced LoadLock.Module bedienen Clusteranlagen mit extremer Substrat.Kapazität
Kapazitäten bis zu 50 Stk. und mehr sind für 200mm und 300mm Wafer möglich!

LLM – LoadLock Module – Automatikversion
Kassettenmodul zur Aufnahme von Substratcarriern für die Adaption an das Handlingmodul WHM-VAC. (VAC.LOADPORT)
Kapazitäten ab 5 Stk. bis mehr als 20 Stk. Carrier-Gewichte von mehr als 10kg pro Carrier möglich!

LLM – LoadLock Module – manuelle Version
Load Lock-Kammer zur manuellen Anlagenbeschickung, vorbereitet zur Adaption an das Handlingmodul WHM-VAC

LMS – LoadLock – Mapping
Sensorbasiertes System welches ein Scannen der eingelegten Carrier-Kassetten ermöglicht

SCC – Substrate Carrier Cassette
Kassette zur Aufnahme mehrerer Carrier, optimiert für den Einsatz des WHR-VAC Wafer Handling Robot

SCS – Substrate Carrier System – Standard
Kundenspezifische Carrier zur Aufnahme von Substraten

SCS – Substrate Carrier System – in-situ
Kundenspezifische Carrier mit integrierter Meßtechnik

SCS – Substrate Carrier System – ACTIVE
Kundenspezifische Carrier mit integrierten Heizelementen

Pre- und Post-Processing.Module
COOLING.Module: Abkühlen von Substraten nach thermischen Prozessen
HEATING.Module: Aufheizen von Substraten als Prozessvorbereitung

ROBOT.Configurator

Waferhandling-Robot

Waferhandling-Module

LoadLockModule für Ihr Business:

Forschung und Produktion:
• Materialforschung
• Schichtentwicklung
• Halbleiter
• Sensorik
• Optik

FÜNF GRÜNDE für Adenso Wafer Handling

1. REICHWEITE

2. TRAGFÄHIGKEIT

3. SCHLEUSENVENTILE

4. AUFSTELLFLÄCHE

5. WIRTSCHAFTLICHKEIT

Gedacht und gemacht in Sachsen

NEU: ROBOT.Configurator

Mit dem Adenso ROBOT.Configurator einfach zur passenden Cluster-Plattform

Adenso bietet mit dem neuen ROBOT.Configurator die Lösung zur Konfiguration individueller Cluster-Plattformen nach Anwendungs-Anspruch.
Live und dreidimensional wächst die gewünschte Anlage aus dem Adenso-System vor Ihren Augen und kommt am Schluß mit einer ausführlichen Zusammenfassung aller Parameter als pdf. Einfach, schnell und flexibel können Adenso Kunden jetzt die verschiedensten Plattform-Varianten konfigurieren. Gleich ausprobieren!

ROBOT.Configurator