Adenso erweitert sein VAC.LOADPORT-Produktportolio aus dem Bereich der VAC.ROBOTICS mit der VSC200 Vacuum Suitcase. Die erste Transporttechnologie an und für Vakuumprozessanlagen – kompakt, leicht und einfach zu handhaben.
Unter Beibehaltung der jeweils notwendigen Vakuumumgebung werden alle Substrate – runde, eckige, schmale Wafer oder höhere Carrier – in das vakuumdicht verschließbare VAC.SUITCASE geladen, entkoppelt und transportiert. Damit lassen sich erstmals räumlich getrennte Anlagen von Raum zu Raum oder weltweit verbinden.
Wozu dient der Versand unfertiger Halbleitersubstrate?
Die vernetzte Arbeitsweise macht Informationen weltweit verfügbar – physische Ressourcen jedoch sind ortsgebunden und nur begrenzt verfügbar. Wird nun Forschungsteams die Möglichkeit geboten, ihre Substrate ohne Brechung der Vakuuum-Kette weltweit zu verteilen und an andere Prozessanlagen anzudocken, dann erweitern sich die Möglichkeiten schlagartig. Ab sofort können alle weltweit verfügbaren Anlagen-Ressourcen für die Entwicklung neuester Technologien einbezogen werden. Die begrenzte Ausstattung vor Ort ist somit nicht mehr maßgebend für Möglichkeiten und Erfolg. Neue Forschungs-Ansätze und Ideen lassen sich so in kürzester Zeit ohne Budgetbegrenzungen umsetzen und bewerten. Zudem ist Entwicklungszeit auch ein wesentlicher Kostenfaktor.
Forschungsgruppen sind somit auch erstmals in der Lage, vorhandene Technik weltweit als Dienstleistung zu vermarkten – was zu einer höheren Anlagen-Auslastung führt und nicht zuletzt eine gute Nachricht für unsere Umwelt ist.
Warum ist Vakuumumgebung für den Transport so wichtig?
Zur Herstellung von elektronischen Bauteilen sind hunderte Prozessschritte erforderlich – nahezu alle davon technologisch höchst anspruchsvoll und nur erfolgreich unter Ausschluss von Umgebungsluft, da Sauerstoff und Feuchtigkeit die empfindlichen Schichten zerstören. Adenso-Kunden vernetzen Forschungsteams auf der ganzen Welt in dem prozessierte Wafer einer anderen Forschungseinheit mit entsprechend gewünschter Ausrüstung (zu Analysezwecken oder zur weiteren Prozessierung) übergeben werden.
Weltweites VAC-Docking – wie kann das funktionieren?
In der Halbleiter- und Vakuumbranche existieren weltweit etablierte Schnittstellen-Standards. Die den SEMI-Anforderungen entsprechenden Gateventile der Firma VAT haben sich als weltweiter Standard für Vakuumanlagen etabliert.
Bei abweichenden Gateventilen kann auch eine Adapterplatte die Koppelung des VAC.SUITCASE sicherstellen.
Fragen zur neuen Transporttechnologie?
Die Möglichkeiten für Forschungsteams und -projekte erweitern sich mit dieser Transporttechnologie enorm – Adenso steht Ihnen bei der Zusammenstellung einer passenden Konfiguration für Ihr neues, weltweites Forschungsnetzwerk gerne zur Verfügung!
Adenso-Kunden vernetzen mit der VAC.SUITCASE Forschungsteams auf der ganzen Welt!
Ein Koffer voller Vorteile:
• Substratversand im Prozessmodus
• leicht und einfach zu bedienen
• VAT-Gateventil Standard
• anlagenübergreifend mit Adapter
• erhöhte Auslastungsmöglichkeit
• vereinfacht Forschungsvorhaben
• überwindet lokale Ausstattungsdefizite
• eröffnet neue Ressourcen in F+E
