Weltneuheiten im Waferhandling

Zu den Weltneuheiten
.solutions you need
Waferhandling
WHR Robot
Device Tester Sorter
in Serienproduktion
Device Tester Sorter
DTS 220X im Reinraum
Prozesskammer
Wafer-Handlingmodule (WHM)
Load Lock Module
Lademodule (LLM)
WHR-VAC
Waferhandling Robot
Adenso Produktionsumgebung, Ausschnitt

Adenso.Waferhandling.Solutions

Lösungen und Produkte für Substrathandling in Vakuum-Robotik und Glove-Box-Systemen

Modul-Layouts

Modul-Konzepte nach Bedarf

Adenso entwickelt einzigartige Lösungen für die Vakuum-Robotik mit Substrathandling in Glovebox-Systemen. Bewährte Grundlayouts werden in jedem Projekt kundenspezifisch den Abmessungen, Prozessanforderungen und Bewegungsbereichen angepasst. Dabei gehen die Lösungen von 2 –12 Prozess-Stationen bei sternförmiger Anordnung weiter zu Box-Konzepten mit 6 – 10 Pozess-Stationen in rechteckigem Grundlayout.

WaferHandling-Robot

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WHR Roboterarm

Wafer Handling Robot (WHR)

Der Adenso WHR-VAC Waferhandling Robot ist optimiert für höchste Tragfähigkeit und große Reichweiten. Die einfache Armgeometrie erlaubt kleine Gateventile und kompakte Handlerschwenkbereiche. Für Handlingaufgaben im Bereich von Vakuum-Robotik (VacBot) von sensiblen und großfächigen Substraten wie Gläser, FPD Flat Panel Display. Auch als Glove-Box-Version und in Voll-Edelstahlausführung verfügbar.

WaferHandling-Module

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WHM Transferkammer

Wafer Handling Module (WHM)

Handlingmodul mit integriertem WHR-VAC Wafer Handling Robot optimiert für das Handling von Substratcarriern im Hochvakuum.

Die Anzahl an Prozess-Stationen wird kundenspezifisch ausgelegt von minimal 4 bis mehr als 8 Ladeports. An die Handling-Module docken Prozesskammern und Lademodule für Substrate (LLM) an.

LoadLock-Module

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Lade-Module

Load Lock Module (LLM)

Die Lademodule oder Kassetten gibt es je nach Kundenwunsch und gewünschtem Prozess in breiter Auswahl an Automatisierung und Dimension. Scanner, Messeinheiten oder Heizelemente erweitern die Anwendungsmöglichkeiten der Vaccumrobotic.

Adenso.Advantage

FÜNF GRÜNDE für Adenso Wafer Handling Robots (VacBots)

1. REICHWEITE
Eine beschränkte Reichweite schränkt die Gestaltung der Prozessbereiche ein. Adenso-Lösung: Größte Reichweiten = maximale Flexibilität!

2. TRAGFÄHIGKEIT
Eine eng begrenzte Tragfähigkeit beschränkt Reichweite und Substratauswahl und führt zu Prozessunsicherheiten. Adenso-Lösung: Höchste Tragfähigkeit = unbegrenzte Substratauswahl!

3. SCHLEUSENVENTILE
Überdimensionierte Schleusenventile verursachen hohe Investmentkosten sowie hohe Betriebskosten durch große Volumina. Adenso-Lösung: Schlanke Kinematik = kleinste Schleusenventile!

4. AUFSTELLFLÄCHE
Reinraumfläche ist teuer. Adenso-Lösung: Platzsparende Kinematik = minimale Aufstellfläche!

5. KOMPLEXITÄT
Aufwendige Kinematik aus dem Atmosphärenbereich ist im Vakuum unvorteilhaft. Adenso-Lösung: Einfacher Aufbau = Einsparung von Invest- und Betriebskosten!

Das erfolgreiche Adenso-Konzept im Bereich der VacBots besteht darin, unseren Kunden eine bedarfsgerechte maßgeschneiderte Lösung aus vorhandenen oder angepassten Modulen aus dem Bereich der Vakuum-Robotik anzubieten.

Grundlayout + Waferhandling-Robot + Waferhandling-Modul + LoadLock-Modul
ergeben ein sofort betriebsbereites Produkt mit definierten Schnittstellen.

So sind Wafer bis 450mm, Schwerlastkapazitäten bis 250kg und extreme Reichweiten möglich.