Wafer&Cluster.Product

WHM ULTRA | Wafer Handling Robot

Kundenanwendung

WHM ULTRA

Das Anlagenbild eines Kunden aus Schweden zeigt im Vordergrund den Adenso Handler in der Ausführung WHM ULTRA:
Trotz nur rund 700mm Grundfläche beträgt der Hubweg 1,2m (!) und beschickt eine sehr spezielle Produktionsanlage mit Carriern, auf denen Wafer befestigt sind;
vor dem Prozess werden die Carrier auf ca. 400°C erwärmt – und nach dem Prozess auf Raumtemperatur gekühlt.

Adenso Wafer Handling Module WHM ULTRA

Advanced substrate-handling solutions with ultra wide range

WHM ultra Adenso Wafer Handling Module

  • ultra-long range of up to 3x that of other solutions on the market
  • minimum footprint thanks to smart kinematics
  • very small gate valves thanks to lean axis geometry
  • maximum carrying capacity for customer-specific carrier solutions

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