Wafer&Cluster.Product

VSC200 Vacuum Suitcase | VAC.SUITCASE

Transporttechnologie für Vakuumanlagen

Der Adenso VS200 Vacuum Suitcase ist eine kompakte, leichte, einfach zu handhabende und dicht verschließbare Transportbox mit Schnittstelle zu Vakuumprozessanlagen.

Auf einfache Weise werden alle Arten von Substraten – rund oder eckig, dünne Wafer oder dickere Carrier – in das vakuumdicht verschließbare VAC.SUITCASE eingeladen und transportiert – unter Beibehaltung der notwendigen Vakuumumgebung. Damit lassen sich erstmals räumlich getrennte Anlagen von Raum zu Raum oder weltweit koppeln.

Warum ist die Vakuumumgebung für den Transport so wichtig?
Zur Herstellung von elektronischen Bauteilen sind hunderte Prozessschritte erforderlich – nahezu alle davon technologisch höchst anspruchsvoll und nur erfolgreich unter Ausschluss von Umgebungsluft ausführbar, da Sauerstoff und Feuchtigkeit die empfindlichen Schichten zerstören.

Wozu dient der Versand von unfertigen Halbleitersubstraten?
Durch die vernetzte Arbeitsweise sind Informationen weltweit verfügbar – physische Ressourcen jedoch zumeist ortsgebunden und nur begrenzt verfügbar, außerdem ist Entwicklungszeit ein wesentlicher Kostenfaktor.
Wird nun Forschungsteams die Möglichkeit geboten, Ihre Substrate ohne Brechung des Vakuuums weltweit zu versenden und an andere Prozessanlagen anzudocken, dann erweitern sich die Möglichkeiten schlagartig ernorm, da somit nicht mehr die begrenzte Ausstattung vor Ort maßgebend für die Möglichkeiten und den Erfolg sind, sondern sofort alle weltweit verfügbaren Ressourcen für die Entwicklung neuester Technologien einbezogen werden können.

Neue Ansätze und Ideen lassen sich so in kürzester Zeit umsetzen und bewerten.
Ebenso eröffnen sich damit allen Forschungsteams vollkommen neue Möglichkeiten, Ihre Anlagentechnik weltweit als Dienstleistung anzubieten – was mit Sicherheit zu einer deutlichen Steigerung der Auslastung dieses Equipments führen wird, was nicht zuletzt für unsere Umwelt eine gute Nachricht ist.

Weltweites Docking – wie kann das funktionieren?
In der Halbleiter- und Vakuumbranche existieren weltweit etablierte Schnittstellen-Standards. Die den SEMI-Anforderungen entsprechenden Gateventile der Firma VAT haben sich als weltweiter Standard für Vakuumanlagen etabliert.
Da die Anbindung des VAC.SUITCASE über eine Adapterplatte funktioniert können hier auch abweichende Gateventile genutzt werden – indem eine passende Adapterplatte verwendet wird.

Fragen?
Die Möglichkeiten für Forschungsteams und -projekte erweitern sich mit dieser Transporttechnologie enorm – wir helfen Ihnen gern bei den Abstimmungen und der Zusammenstellung einer passenden Konfiguration für Ihr neues, gerne weltweites Forschungsnetzwerk!

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Adenso-Kunden vernetzen Teams auf der ganzen Welt in dem prozessierte Wafer einer anderen Forschungs-Einheit mit entsprechend gewünschter Ausrüstung (zu Anlaysezwecken oder zur weiteren Prozessierung) übergeben werden.

Adenso Vacuum Suitcase Advantages

  • leicht und einfach zu bedienen
  • VAT-Gateventil Standard
  • schnittstellenübergreifend mit Adapterplatte
  • Substratversand im Prozessmodus
  • neue Auslastungsmöglichkeiten
  • vereinfacht Forschungsvorhaben
  • überwindet lokale Ausstattungsdefizite
  • eröffnet neue Ressourcen in F+E