Cluster.Steuerung für Adenso Robot.Platform

adControl | Cluster Control System

  • adControl

    Stand alone system, with vacuum process control, visualization, scheduler and multi-admin

  • adControl with

    • electronics
    • pneumatics
    • LLM-VAC
    • LLM-TMP (option)
    • safety equipment
    • multitouch-display

  • adControl

    • electronics
    • vacuum system
    • multitouch-display
    • operating

  • Solution for Adenso Robot.Platform

    The new Cluster Control System

  • Different operating conditions

    Adenso adcontrol Human Machine Interface (HMI)

  • adControl a universal Adenso.Solution

    Adenso adControl HMI

adControl ist das Cluster Control System für die gesamte Adenso Robot.Patform

Fast Facts:

  • Stand alone system, with vacuum process control, visualization, scheduler and multi-admin.
  • Communication with customers process control system via Adenso.Interface.
  • This adControl setup is based on Adenso waferhandling hardware platform and covers the necessary effort for setup a fully working stand-alone central handling unit.

Customer advantage: This central system can setup in parallel to the setup and commissioning of the process modules – which saves time and guarantee a smooth integration – a stable base for customers process commissioning.

adControl ist eine weitere typische Adenso Solution. Im Interview Uwe Beier, Adenso Geschäftsführer.

Auf welche Kompetenzen möchten sich unsere Kunden konzentrieren?
Prozesstechnologien!

 Also benötigen unsere Kunden zur Vernetzung von Prozessmodulen in einem Cluster zentrale Robot.Module für das Handling von Substraten zwischen den Prozessen sowie zur Ein- und Ausschleusung. Das Prozess-Knowhow ist und bleibt beim Kunden.

Wie sieht ein zentrales Handlingmodul aus Sicht unserer Kunden idealerweise aus?
Das ist ein vollständig autark arbeitendes, zentrales Cluster.Module inkl. einer intuitiv zu bedienenden grafischen Bedienoberfläche (GUI) und allen notwendigen Sicherheitsfunktionen.

Kann Adenso diese Kundenforderungen erfüllen?
Dafür wurde die modulare Adenso Robot.Platform entwickelt:
Robot.Module werden anwendungsspezifisch konfiguriert – fast so einfach wie bei den bekannten Spielsteinen.
• Die ebenso modulare Cluster.Steuerung adControl übernimmt dann die komplette Steuerung des zentralen Handlingmoduls.

Wie entsteht nun ein Robot.Cluster für Vakuumprozesse?

Der Prozessanbieter besitzt die Technologien und stellt eine Konfiguration für seinen Kunden zusammen.
 Adenso wählt eine passende Robot.Platform sowie notwendige Robot.Module aus und konfiguriert zusammen mit der adControl einen Robot.Cluster.
Die Kommunikation zwischen Handling.Robot und Prozess.Modulen wird über das adControl.Interface auf einfache und ebenso modulare Weise erledigt.

Welche Zeit ist für die Grundinbetriebnahme von Handling.Robot und Prozess.Modulen zu rechnen?

Da alle Systeme parallel und unabhängig voneinander in Betrieb genommen werden und die Schnittstelle vorab getestet werden kann, ist die Grundinbetriebnahme auch von umfangreichen Clusteranlagen innerhalb von nur einem Tag erledigt. Ab diesem Zeitpunkt kann die Prozessinbetriebnahme starten.

Ist eine Erstinbetriebnahme beim Endkunden möglich?

Es empfiehlt sich, ein Prototypprojekt zu realisieren – danach ist es üblich, die separat getesteten Module direkt beim Endkunden zusammenzubringen und gemeinsam in Betrieb zu nehmen.

Welches Vertiebssystem steht bei Adenso hinter adControl?
Da wir mit adControl auf ein Lizenzmodell setzen, müssen unsere Kunden nicht für jedes Projekt die gesamte Softwareentwicklung bezahlen. Was für unsere Kunden deutliche Zeit- (weil fertiges Serienprodukt) und Kostenvorteile (nur Lizenzgebühr) bringt.

Was schätzen Adenso.Kunden besonders?

Konzentration auf die – auf unsere –  jeweiligen Kernkompetenzen.
 Schnelle Inbetriebnahme und kurze Projektlaufzeiten mit Produkten und Lösungen Made in Sachsen.

Modulare Interface Master-Steuerung: flexibel und autark

Beispielkonfiguration

Beispielkonfiguration eines zentralen Handlingmodul WHM mit einem LoadLockModule (BLAU) sowie angedeuteten Kunden-Prozessmodulen (ROT):

TASK A / adControl CLUSTER CONTROL SYSTEM
Substrathandling, Scheduler (Substrat-Tracking), Rezepte, Benutzerverwaltung, Vakuum-Mastersteuerung, Sicherheitsfunktionen, Visualisierung, …;
– Stand-alone-System, d.h. voll funktionsfähige Cluster.Platform
> Einbindung von Prozessmodulen über die Schnittstelle adControl.Interface (TASK4)
> Durch die Hardwareunabhängigkeit können auch Prozessmodule von unterschiedlichen Herstellern in einem Cluster kombiniert werden.

TASK B / PROCESS-SPS
Steuerung aller prozessrelevanten Funktionen
Die Prozessabläufe werden kundenseitig auf einer SPS(ENG: PLC) realisiert / klare Begrenzung auf den Prozess des jeweiligen Prozessmoduls
Idealerweise besitzt jedes Prozessmodul seine eigene SPS.

TASK C / PROCESS-VISU
Visualisierung aller prozessrelevanten Funktionen
Die Prozessabläufe werden mit allen relevanten Parametern und Rezepten in einer Visualisierungsumgebung dargestellt.
Die Umsetzung dieser Aufgabe kann kundenseitig, gemeinsam oder vollständig von Adenso realisiert werden.

TASK D / adControl.Interface
Eine (dreiteilige) Schnittstelle zur Steuerung der Prozessmodule durch die Cluster.Platform
Part1: CLUSTER (Substrathandling, Sicherheit, ….)
Part2: VAC (Vakuum-Teilsysteme)
Part3: VISU (Cluster-Visualisierung mit Prozessen)

Die Adenso Waferhandling.Platform stellt zusammen mit dem adControl CLUSTER CONTROL SYSTEM eine vollständig funktionsfähige Cluster.Platform dar, an welche einfach, flexibel sowie hardwareunabhängig Prozessmodule in beliebiger Konfiguration angedockt werden können.

Durch die Möglichkeit des hardwareunabhängigen Tests der Schnittstelle sind keinerlei Inbetriebnahmezeiten für das Zusammenspiel der Module notwendig – die Anlage ist nach dem andocken von Prozessmodulen sofort für die Prozessinbetriebnahme bereit.

Die Einbindung von bislang als Stand-alone-System konzipierten Prozessmodulen eröffnet neue Möglichkeiten und erspart Anpassungs- und Entwicklungsaufwand. Kunden realisieren Prozess-Know-how statt Handlingaufgaben.

– TASK A
CLUSTER CONTROL SYSTEM

adControl
• stand-alone system
• control hardware and software
• scheduler (substrate tracking recipes)
• operator administration
• visualization / multi touch display

adVAC
contains vacuum components, pneumatics, …
• WHM-VAC (wafer handling module)
• LLM-VAC (load lock module)
Commissioning independent from process.

– TASK B
PROCESS CONTROL SYSTEM P1 … Px

• PLC
• process technology
• ideally stand-alone solutions
• ideally one PLC per process module
Commissioning independent from handling.

– TASK C
Process VISUALISATION

Operated by customer as stand-alone version
or by Adenso as an option: integrated into adControl visualization (customized solution)

– TASK D
INTERFACES

CLUSTER (general, substrates, safety, …)
VACUUM and VISUALIZATION
Basic commissioning together within short time as base for process commissioning by customer.

Adenso.Kontakt

+49 351 79 59 79 70

E-Mail: info(at)adenso.de

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Adenso GmbH
Am Weiher 3
OT Boxdorf / Dresden
01468 Moritzburg, Germany

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