Adenso baut sein System-Portfolio im Bereich der Cluster Robot.Platform weiter aus und bietet jetzt für jede Substratgröße geeignete Temperiermodule:
COOLING.Module: Abkühlen von Substraten nach thermischen Prozessen
HEATING.Module: Aufheizen von Substraten als Prozessvorbereitung
In vielen Fällen benötigen die Kunden-Prozesse hohe Prozesstemperaturen. Werden dabei die Substrate untemperiert in den Prozess geladen, ist in der Prozess-Hauptzeit eine Aufheizzeit erforderlich – es wird wertvolle Prozesszeit dafür benötigt. Das gleiche gilt für die Abkühlphase nach solchen Hochtemperaturprozessen.
Die HEAT/COOL.Module werden einfach and die zentrale Robot.Platform angedockt. Bei Auslieferung der Robot.Platform sind die Zusatzmodule bereits eingerichtet, getestet und funktionsbereit. Diese können mit dem ROBOT.Configurator bereits mitkonfiguriert werden. Und natürlich sind die gewählten Module auch im Master-Interface adControl berücksichtigt.
Ergänzen die Adenso-Systemwelt der Robot.Platform und sparen wertvolle Prozesszeit – die neuen COOLING. und HEATING.Module für jede Substratgröße
