Produktpalette erweitert: Handler-Kammer mit sechs Prozessports

Die Adenso Waferhandling-Kammer wird noch kontaktfreudiger

Wafer Handling Module mit 6 Prozessports

4 bis 5 Slots waren zuletzt Standard im Adenso Handlingmodul mit integriertem WHR-VAC Wafer Handling Robot. Diese Einheit ist optimiert für das Handling von Substratcarriern im Hochvakuum. Das neu erhältliche Modul bietet 6 Slots für noch mehr Prozesse oder Durchreichungen in weitere Modulkammern. So lassen sich auf gleicher Fläche noch mehr Prozesse handeln.

Wie in der Raumstation ISS lassen sich so die Adenso-Module den jeweiligen Prozessanforderungen gemäß zusammenstellen um Prozess im Hochvakuum durchzuführen. Vom Testsystem mit 2 Kammern bis zum Modul mit bis zu 8 Prozess-Stationen (geplant) lassen sich so alle Anforderungen von Forschung bis Produktion abbilden. Insbesondere die Ausrüstung mit dem richtigen WHR-VAC Wafer Handling Robot von Larg bis Ultra-large mit dreifacher Reichweite gegenüber bekannten Lösungen ermöglicht die Koppelung und Zusammenarbeit mehrerer Prozess-Module.

Adenso bietet branchenübergreifend Querschnittskompetenzen und -Technologien aus den Bereichen Engineering, Vakuum, Automation. Für Adenso Kunden sind spezifische Prototypen, Forschungsmodule und Produktionsanlagen jeder Dimension die Basis für weltweit erfolgreiche Geschäftsmodelle. Mit einem Blick für Marktbedürfnisse entwickelt Adenso auch eigene Produkte und Speziallösungen für Clusterhandling und Hochvakuum. (www.adenso.de)

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