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Europa fördert Sachsen
• Messen, Aussenwirtschaft: LOPEC 2019
• Messen, Aussenwirtschaft: Semicon 2019
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• Messen, Aussenwirtschft: nano tech 2018
• Messen, Aussenwirtschaft: Semicon Europa 2017
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Das Ziel des Vorhabens besteht in der Erweiterung der Steuerung des Handlingroboters WHR um Funktionen zum Substrat-Tracking in der Anlage. Das umfasst Funktionen zur Kommandierung von Load-Lock-Modulen, zum Erfassen von Substraten in Transportkassetten (Mapping) sowie zur Lokalisierung der Substrate in der Anlage. Darüber hinaus wird das WHR-Protokoll um zusätzliche Befehle zur externen Kommandierung erweitert und die Inbetriebnahme- und Parametrierungssoftware ServiceTerminal um Funktionen zum Monitoring der Substrate in der Anlage.