Adenso WHR VAC Solutions.pdf

Das Anlagenbild eines Kunden aus Schweden zeigt im Vordergrund den Adenso Handler in der Ausführung WHM ULTRA:
Trotz nur rund 700mm Grundfläche beträgt der Hubweg 1,2m (!) und beschickt eine sehr spezielle Produktionsanlage mit Carriern, auf denen Wafer befestigt sind;
vor dem Prozess werden die Carrier auf ca. 400°C erwärmt – und nach dem Prozess auf Raumtemperatur gekühlt.