adLOAD – advanced High Capacity LoadLock.Module

adLOAD ergänzt Produktportfolio

advanced LoadLock.Module bedienen Clusteranlagen mit extremer Substrat-Kapazität

adLOAD bildet eine ganz neue Kategorie von LoadLock.Modulen für Clusteranlagen, welche sich durch eine bislang unerreichte Substrat.Kapazität auszeichnet.

Statt bislang nur 25 Wafer pro Zyklus können nun 30, 40, 50 und mehr in einer LoadLock untergebracht werden – eine enorme Steigerung der Autonomiezeit bei gleichem Footprint!

Alle aus der VAC.ROBOTICS Plattform bekannten Optionen und Kombinationsmöglichkeiten, wie z.B. Alignment, Multi-Subtratgreifer, Temperierung, …, sind mit dieser Baureihe kompatibel.

Adenso-typisch lassen sich die adLOAD für Baugrößen auch mit 200 und 300mm Substratgröße konfigurieren.

Kombiniert mit der 7port-Zentralplattform bietet das zukunftssichere Flexibilität für alle Anwendungen.

Der Robot.Configurator erstellt dazu online kundenspezifische Systeme aus der Adenso Cluster.Platform und bietet damit die perfekte Arbeitsebene für die weitere Umsetzung.

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